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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

新项目历史背景 该半导体芯片技术品牌最靠近长三边形省份,通常制造8厘米和12厘米晶圆,日直接尾气排放废需水量约2000吨。根据半导体芯片技术制造施工工艺更复杂,废气的成分多元且所含种难吸附化合物,品牌原先的净化处里的设施是没办法能够满足必将认真的环境直接尾气排放标,故成本4000万元在建技术废气净化处里站。 废液成分表及来原 该厂家废水处理方法大部分包括4类: 含氟废水处理方法:种类于晶圆蚀刻、的洗涤制作工序,氟阴离子渗透压达到了2000mg/L; 可挥发化学工业废水:是来自于光刻、定影等工艺设备,包含有异丙醇、甲苯等可挥发化学强酸强碱,COD值在5000mg/L影响; 酸碱性废气:形成于拆洗和外壁净化处理部分,pH值跌涨大; 含铜污水:原于真空电镀和五金蓝翔塑业有限公司所生产的艺,铜阳离子氧化还原电位约150mg/L。 处里生产技术具体步骤 造成有所不同特性的废水办理,进行"分为获取+分质办理+最末端高度办理"的搭配的工艺: 含氟废气正确处理线: 两极耐腐蚀积累:先污泥脱水氯化钙控制pH至6-7,多加入PAC和PAM水解酸化池积累; 活力性硫化铝降解:抓实氟亚铁离子盐浓度降下来8mg/L以上。 充分工业废水操作线: 微电解抛光体现:铁碳人工湿地填料床预处置加快废水处理工艺可生化模式性; UASB活性污泥表现器:HRT=24h,COD去掉率65%; MBR膜动物的催化反应器:进行PVDF中空夹胶玻璃棉纤维膜,出液COD<50mg/L。 强酸强碱废水处理工艺中合设计: 自功pH调低:经过手机环境监测方案仪操纵加酸加碱量; 二沉池沉淀物中:的还原中合行成的悬浮物物。 含铜焦化废水治理技术: 检查是否发展:加药系统NaOH自动调节pH至9-10,形成了氢氧化物铜发展; 正阴离子交換:抓实铜正阴离子质量浓度<0.3mg/L。 深层处置单元测试: 活性氧促使腐蚀:进几步化学降解难可分解有机肥料物; 活性酶类炭进行过滤:洗去碱度和微量分析严重挥发性有机物; 紫外线,线酒精消毒:有效确保出水量微怪物完成指标未达标。 既定效果好 投资项目程序操作后,满水后水质监测稳定性高符合《手机工业品水弄脏物废气废气废气废气排放标准决定》(GB 39731-2020)越来越废气废气废气废气排放限制值的标准,里面氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。第二年可减轻氟化物废气废气废气废气排放约120吨,COD废气废气废气废气排放约400吨,出售水材料约十万吨。体系主动化程度上高,程序操作代价调整在8.5元/吨水的样子。

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