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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体器件电子器件生制造产制作厂在晶圆生产制作全过程中,实用硅烷使用硅本质种子发芽,排放干洗塔制造高盐浓度含硅废污水。废污水都具有pH变化大(2-11)、硅分量高的特殊性,传统化操作策略易造成硅垢空气能管道堵塞一些问题。 废气含量及来自 化工废水主要是成份为: 溶解出来性硅酸盐 :SiO₂密度达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢钝化钠 :洗衣塔酸碱性洗衣液残存 颗粒剂硅 :微米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :配料悬浮物携带 补救工艺设备方案 什么是创新选择"二级结合+膜过滤系统+挥发心得"生产工艺: 特一级采和 :用CaO可以调节pH至4-5,合成硅酸钙悠长岁月中,硅弄掉率60%。 中级与 :加Na₂CO₃将pH提升自己至9,进第一步沉定结余硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透膜系统化 :0.02μm瓷质膜滤出纳米技术级硅粉末,通量稳固在80LMH。 MVR真空泵器 :浓缩造成高盐生产废水,析出出Na₂SO₄副產品,水循环率超90%。 最终能够效用 总硅从1500mg/L降落到5mg/L下述 砷水分含量从0.8mg/L降下来0.01mg/L 设备无积灰工作大于2年 一年回收处理氢氧化钾钠晶胞约800吨

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