某半导体器件电子器件生制造产制作厂在晶圆生产制作全过程中,实用硅烷使用硅本质种子发芽,排放干洗塔制造高盐浓度含硅废污水。废污水都具有pH变化大(2-11)、硅分量高的特殊性,传统化操作策略易造成硅垢空气能管道堵塞一些问题。
废气含量及来自
化工废水主要是成份为:
溶解出来性硅酸盐
:SiO₂密度达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢钝化钠
:洗衣塔酸碱性洗衣液残存
颗粒剂硅
:微米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:配料悬浮物携带
补救工艺设备方案
什么是创新选择"二级结合+膜过滤系统+挥发心得"生产工艺:
特一级采和
:用CaO可以调节pH至4-5,合成硅酸钙悠长岁月中,硅弄掉率60%。
中级与
:加Na₂CO₃将pH提升自己至9,进第一步沉定结余硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透膜系统化
:0.02μm瓷质膜滤出纳米技术级硅粉末,通量稳固在80LMH。
MVR真空泵器
:浓缩造成高盐生产废水,析出出Na₂SO₄副產品,水循环率超90%。
最终能够效用
总硅从1500mg/L降落到5mg/L下述
砷水分含量从0.8mg/L降下来0.01mg/L
设备无积灰工作大于2年
一年回收处理氢氧化钾钠晶胞约800吨