该厂为8英尺晶圆制造线配置的超软水平台，每星期行成含硅污水150吨。污水里虽无高价属，但硅浓度高易水垢，且阻值率需提升18MΩ·cm才能够轻工业废水解决。原本解决艺难以满意新发布的《自动化轻工业水影响物摆放准则》（GB39731-2020）特意摆放限制值。 生产废水有效成分亮点 主要是被有害物质 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（孔径0.1-1μm） 特别规定 ：TOC<10μg/L，硼含锌量<5μg/L 污水水质优点 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅化学物质状态冗杂 加工加工流量 技术创新使用"梯级膜离心分离+电去阳离子"组合式工艺设备： 微滤预工作 ：1μm陶瓷图片膜拦住大顆粒硅，通量达到80LMH 阴离子变换光敏树脂 ：D201大孔聚酯树脂选用性过滤硅酸大分子 2级RO系統 ：第一个段收旧率60%，最后段采用了高脱硼膜器件 EDI电去铝离子 ：瞬时电流密度计算公式2A/m²，维持清掉残渣阳离子 分光光度计除菌 ：254nm紫外线灯线残留量40mJ/cm² 水平特点 定制开发专业化阻硅剂（有机酸胺类和好物），延长时间膜环保问题周期性3倍 EDI方案特色化流道定制，硅洗去率发展至99.8% 免费在线硅分享仪（测试领域0.1-500μg/L）保持精准定位抑制 运营认真总结 经3、方测试： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含水量从8μg/L下降0.3μg/L 软件的回收利用率从原40%改善至68% 膜调整时间延缓至5年，年工作成本低下降35%