该晶圆制造商厂是在西北国,核心生產85英寸半导体材料晶圆,日访问量化工废水污染物量约800吨。犹豫生產的过程 中用大批氢氧化钠通过晶圆蚀刻,诱发化工废水面氟化物浓硫酸浓度到达200-300mg/L,远超国污染物标准单位(10mg/L接下来)。
废水处理组成及來源
焦化废水重要原于3个部分:
晶圆蚀刻工艺
:含高溶度氟化物(HF)、硝酸钠及极少量巨资属
生物学自动化设备cnc精密机械加工(CMP)生活污水
:含奈米级硅颗粒状、有机的络合剂
设备家电清洗生产废水
:含异丙醇、挥发酚等有机酸物
进行处理加工步奏
选择"电化学凝固+沥青混凝土凝固+深度的进行过滤"两级处理机系统:
一級处里
:污泥脱水氯化钙和氢硫化钙,养成氟化钙沉积,氟化物消除率达85%
特殊工作
:加入PAC(整合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),避开固体态污染问题物
二级治理
:完成多导电介质过滤系统器和活性酶类炭吸附性,出水量氟化物酸度稳定的在8mg/L下述
关键的机 包涵:pH主动调理设备、斜管结晶池、板框废水压滤机(废水脱水等)。
终究效率
顶目运动三年期监测站统计数据信息显示:
氟化物最低值质量浓度:7.2mg/L(高于政府细则)
COD出掉率:92%
工业废水含水量率:≤65%
年回报氟化钙副企业产品约150吨,保证资源性化通过