半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
活动历史背景
该厂家为全世界遥遥领先的半导体技术首测厂家,地属粤西形地域,主要是采取顶级电源芯片的小学划片和打包封装测试英文。会因为当地城市节能规定要求严格执行,厂家影响方案生产废水零排污水利工程。楼盘于明年无法,202几年6月起建投建,解决面积为200吨/日,总投資约2000万块。
废污水组成成分及收入
某项为的小学划片废污水有着如下作用:
高溶度氟化物,核心出于晶圆切除后的洁净加工过程,氟铝离子溶度高达模型150-200mg/L
有纳米技术级硅粉颗粒状,比表面积多在100-500nm之中
巧妙容载较高,COD在500-800mg/L
内含微量分析血本属如铅、镉等
电阻率高,往往在2000-3000μS/cm
除理方法步骤流程
为实现了零释放对方,技艺装修设计侧重于注意废水处理方法进行分类分类整理和资原收旧:
工业废水细分汇集系統
:将含氟废液与某些废液分类建立回收
电化学放置除氟
:用二级钙盐沉淀物物中法,结合高效率的沉淀物物中池
高层腐蚀治理
:活性氧光氧催化反应氧化反应光降解难治疗设计物
膜高浓整体
:用到DTRO碟管式反加入,高浓公因数为10倍
化掉析出
:MVR机器饱和蒸汽再减少多效冷疑器加工处理浓水
烘干程序
:将晶粒盐干热后身为工业企业副物料外售
操作治疗效果
设备运转统计数据提示:
氟化物洗去率>99.9%,满水后氟阳离子<1mg/L
COD总弄掉率>98%,溢水COD<20mg/L
水产品二手回提取率>95%,仅所产生一些心得盐
今年可回笼高品行中水回用水约3万吨
晶体盐纯净度提升工业企业级规格,实现了信息化用
新项目既实现了了废污水零废气,还实现资源量收售营造了约80多万元/年的格外报酬率。