工作背景图
某超大半导生育制造工厂地属长角形沿海地区,包括生育晶圆和存储芯片。在生育分阶段中,晶圆裁割和cnc精密机械加工分阶段带来大批量研磨机液生产废水,单日尾气占有量下跌约50吨。因此生产废水下所含高渗透压飘浮物、重金属正离子及有机化学移除剂,单独尾气摆放会对的环境引起厉害感染,工厂急求搭建专业技术治疗建筑设施。
工业废水基本成分及来历
抛光处理液生活污水最主要的渠道于晶圆代加工中的化学式自动化设备抛光处理(CMP)工作,最主要的废弃物物收录:
浮动颗粒肥料物
:二防氧化物硅、防氧化物铝等精磨颗粒物,粒度分布在0.1-1μm,氧化还原电位超过2000mg/L。
废金属阳离子
:铜、铁、锌等,产自打磨垫磨损情况及晶圆外表面金属制层,铜铁离子氧浓度约50mg/L。
有机的移除剂
:主要包括表层抗逆性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸强碱性类物质
:pH值波动性大,基本在2-11相互间。
治理技术程序
对于化工废水优点,选择“预处置+血生化+深度的处置”搭档工艺技术:
调池
:均匀水污染的水量,增多酸性转换pH至比较适中。
水泥混凝土沉定
:加药PAC(整合氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),快速清理悬屏物和电解质溶液,沉降后SS快速清理率>90%。
催化反应氧化物
:分为Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料设计增长剂,COD除去率达60%。
生物技术外理
:MBR膜生物技术反應器进一部溶解其他设计物,COD降落到100mg/L以上。
阳离子传递
:专用箱聚酯树脂树脂吸附铜阴阳离子,冒水铜纯度<0.5mg/L。
砂滤+几丁质酶炭过滤清洁
:为了确保出水量清亮,达标《生活污水整体的排放规范》(GB8978-1996)四级规范。
既定实际效果
系统性运转维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
循环率达40%,余量符合标准产生,年变少化工废水产生1.5万吨。
补救成本预算约15元/吨,远少于互联网行业均匀。